apibūdinimas
Vieno kristalo silicio luitasis paprastai auginami kaip didelis cilindrinis luitas tiksliomis dopingo ir traukimo technologijomis Czochralski CZ, Magnetinio lauko indukuoto Czochralski MCZ ir plūduriuojančios zonos FZ metodais.CZ metodas yra plačiausiai naudojamas silicio kristalų auginimui dideliuose cilindriniuose luituose, kurių skersmuo iki 300 mm, naudojamas elektronikos pramonėje puslaidininkiniams įtaisams gaminti.MCZ metodas yra CZ metodo variantas, kuriame elektromagnetu sukuriamas magnetinis laukas, kuriuo galima palyginti žemą deguonies koncentraciją, mažesnę priemaišų koncentraciją, mažesnę dislokaciją ir vienodą varžos kitimą.FZ metodas leidžia pasiekti aukštą varžą, viršijančią 1000 Ω-cm, ir didelio grynumo kristalą su mažu deguonies kiekiu.
Pristatymas
Vieno kristalo silicio luitas CZ, MCZ, FZ arba FZ NTD su n tipo arba p tipo laidumu iš Western Minmetals (SC) Corporation gali būti tiekiamas 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm ir 200 mm skersmens (2, 3) , 4, 6 ir 8 colių), orientacija <100>, <110>, <111>, paviršius įžemintas plastikinio maišelio pakuotėje viduje su kartonine dėže išorėje arba pagal pritaikytą specifikaciją, kad būtų pasiektas puikus sprendimas.
.
Techninė specifikacija
Vieno kristalo silicio luitas CZ, MCZ, FZ arba FZ NTD„Western Minmetals (SC) Corporation“ turi n arba p tipo laidumą, gali būti tiekiamas 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm ir 200 mm skersmens (2, 3, 4, 6 ir 8 colių), orientacija <100 >, <110>, <111> su įžemintu paviršiumi plastikinio maišelio pakuotėje viduje su kartonine dėže išorėje arba pagal pritaikytą specifikaciją, kad būtų pasiektas puikus sprendimas.
Nr. | Daiktai | Standartinė specifikacija | |
1 | Dydis | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12 colių | |
2 | Skersmuo mm | 50.8-241.3 arba pagal poreikį | |
3 | Augimo metodas | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Laidumo tipas | P-tipas / legiruotas boru, N-tipas / legiruotas fosfidu arba neleguotas | |
5 | Ilgis mm | ≥180 arba pagal poreikį | |
6 | Orientacija | <100>, <110>, <111> | |
7 | Atsparumas Ω-cm | Kaip reikalaujama | |
8 | Anglies kiekis a/cm3 | ≤5E16 arba pagal poreikį | |
9 | Deguonies kiekis a/cm3 | ≤1E18 arba pagal poreikį | |
10 | Metalo tarša a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) arba <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Pakavimas | Plastikinis maišelis viduje, faneros dėklas arba kartoninė dėžutė išorėje. |
Simbolis | Si |
Atominis skaičius | 14 |
Atominis svoris | 28.09 |
Elemento kategorija | Metaloidas |
Grupė, laikotarpis, blokas | 14, 3, P |
Kristalinė struktūra | Deimantas |
Spalva | Tamsiai pilka |
Lydymosi temperatūra | 1414°C, 1687,15 K |
Virimo taškas | 3265°C, 3538,15 K |
Tankis 300K | 2,329 g/cm3 |
Vidinė varža | 3,2E5 Ω-cm |
CAS numeris | 7440-21-3 |
EB numeris | 231-130-8 |
Vieno kristalo silicio luitas, visiškai išaugęs ir kvalifikuotas, jo varža, priemaišų kiekis, kristalų tobulumas, dydis ir svoris yra įžeminamas deimantiniais ratukais, kad būtų tobulas tinkamo skersmens cilindras, tada atliekamas ėsdinimo procesas, siekiant pašalinti mechaninius defektus, likusius šlifavimo proceso metu. .Vėliau cilindrinis luitas supjaustomas į tam tikro ilgio blokus ir automatinėmis plokštelių apdorojimo sistemomis jam suteikia įpjovą ir pirminį arba antrinį plokščią, kad būtų galima nustatyti kristalografinę orientaciją ir laidumą prieš pjaustant plokšteles.
Pirkimo patarimai
Vieno kristalo silicio luitas